大动作!华为最新投向光刻机 一图看懂国产产业链名单
6月7日訊,在華為重磅發布HarmonyOS 2(鴻蒙操作系統)的當天,天眼查顯示,華為旗下的哈勃投資公司開始投資光刻機領域了,入股了由中科院微電子所控股的北京科益虹源公司。
公開信息顯示,北京科益虹源光電技術公司的控股股東是中科院微電子所,持股26.6%,主要業務就是光刻機中的三大核心技術之一的光源系統,是國內第一、全球第三的193nm ArF準分子激光器企業。
光刻膠板塊最近幾日表現比較強勢,近兩周累計漲幅接近15%。
方正證券指出,光刻機作為前道工藝七大設備之首(光刻機、刻蝕機、鍍膜設備、量測設備、清洗機、離子注入機、其他設備),價值含量極大,在制造設備投資額中單項占比高達23%,技術要求極高,涉及精密光學、精密運動、高精度環境控制等多項先進技術。光刻機是人類文明的智慧結晶,被譽為半導體工業皇冠上的明珠。
方正證券認為,目前全球前道光刻機被ASML、尼康、佳能完全壟斷 ,CR3高達99%。在當前局勢下,實現光刻機的國產替代勢在必行,具有重大戰略意義。在02專項光刻機項目中,設定于2020年12月驗收193納米ArF浸沒式DUV光刻機,其制程工藝為28納米。考慮到此項目作為十三五目標,未來具有較大的明確性,結合 28nm作為當前關鍵技術節點的性能和技術優勢,光刻機國產替代將迎來新的曙光。
方正證券陳杭建議關注光刻產業鏈,一是光刻機核心組件:負責整體集成的上海微電子、負責光源系統的科益虹源,負責物鏡系統的國望光學,負責曝光光學系統的國科精密,負責雙工作臺的華卓精科,負責浸沒系統的啟爾機電;二是光刻配套設施:包括光刻膠,光刻氣體,光掩模版,光刻機缺陷檢測設備,涂膠顯影設備等。
總結
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