EUV光刻机越来越贵了 单价超过12亿元
半導(dǎo)體制造中最關(guān)鍵的設(shè)備就是光刻機(jī),7nm以下的先進(jìn)工藝中都離不開EUV光刻機(jī),現(xiàn)在全球都要靠荷蘭ASML(阿斯麥)公司供應(yīng),每臺機(jī)器都價值不菲。
前不久該公司發(fā)布了2021年Q1季度財報,當(dāng)季營收43.64億歐元,同比增79%,上年同期為24.41億歐元;凈利潤為13.31億歐元,同比增240%,上年同期為3.91億歐元。
光刻機(jī)銷量方面,凈訂單額高達(dá)47.4億歐元,其中EUV光刻機(jī)就占到了22.9億歐元。
具體來說,Q1季度中交付并產(chǎn)生收入的EUV光刻機(jī)有7臺,比去年Q4季度的8臺少了1臺。
不過價格倒是越來越貴了,EUV光刻機(jī)貢獻(xiàn)的收入大約是11.26億歐元,算下來單價是1.6億歐元,約合12.5億元人民幣,比上個季度中的平均單價1.44億歐元提升了11%。
如果大家還關(guān)注過一兩年前的報道,那可能還記得當(dāng)時EUV光刻機(jī)的單價約為1.2億歐元,意味著這兩年來光刻機(jī)的價格還是在不斷上漲的。
當(dāng)然,從另一方面來看,EUV光刻機(jī)也不是以前的型號了,這幾年ASML一直在改進(jìn)EUV光刻機(jī),出貨的型號有NEX3400B、NXE3400C等不同,而且每個EUV光刻機(jī)還會有配套的服務(wù)(安裝也需要ASML工程師),價格也會慢慢漲的。
總結(jié)
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