一個 95 后小伙的“自制光刻機(jī)”視頻，引起一眾網(wǎng)友“狂歡”。

　　近日，大連理工大學(xué)化工學(xué)院的大一學(xué)生彭譯鋒、B 站 UP 主“DUT-home_lab”，發(fā)表了題為《自制光刻機(jī)微納加工 75µm工藝》的視頻。

　　他聲稱自己用一張圖紙搭建出一臺納米級光刻機(jī)，并光刻出 ~75µm（75000 nm）的孔徑。
截止 7 月 11 日下午，視頻已有近 24 萬播放量。

圖｜該視頻播放量接近24 萬，圖中人物為彭譯鋒

　　國內(nèi)一家自媒體以《95 后 up 主低成本 DIY 納米級光刻機(jī)！一圖紙一書桌研究半年，挑戰(zhàn)芯片制造最難環(huán)節(jié)》的標(biāo)題，對該視頻進(jìn)行了報道。

　　隨后，該報道被另一家媒體以《低成本 DIY 納米級光刻機(jī)！這位 95 后男生火了…》的標(biāo)題進(jìn)行轉(zhuǎn)載，文末留言中不乏“國家需要這種人才”“沒看懂，但是感覺很厲害”等贊譽(yù)之詞。

　　同日，大連理工大學(xué)化工學(xué)院的微信公眾號，就該同學(xué)的實驗視頻，發(fā)布了以《挑戰(zhàn)低成本 DIY 納米級光刻機(jī)！人民網(wǎng)點贊這位化工小伙！》為標(biāo)題的報道。　　

圖｜大連理工大學(xué)化工學(xué)院的微信公眾號的報道

　　以上報道發(fā)出后不久，涉事視頻在國內(nèi)某知名問答社區(qū)遭到“瘋狂打假”。

　　目前，該校發(fā)布的報道顯示“已被發(fā)布者刪除”。彭譯鋒發(fā)在 B 站的視頻，也已無法查看。

　　多名專業(yè)人士都認(rèn)為，視頻中的實驗，違背了光刻機(jī)的工作原理。美國某量測設(shè)備供應(yīng)商技術(shù)專家、新加坡南洋理工大學(xué)微電子專業(yè)博士李楊，正是上述問題的回答者之一。

　　DeepTech 聯(lián)系到李楊，他分析了視頻中的幾處錯誤。

　　完全談不上“自制光刻機(jī)”

　　視頻中，彭譯鋒用一張照片，來作為設(shè)計圖紙。李楊認(rèn)為，拿照片當(dāng)圖紙去做“光刻機(jī)”，不只是不當(dāng)、而是荒謬。

　　他說自己作為經(jīng)過專業(yè)訓(xùn)練的前科研工作者，通過照片也只能確定照片中的光刻機(jī)，是德國 Karl Suss 公司的接觸式光刻機(jī)，具體型號則無法辨別，而這位同學(xué)竟然說能通過一張照片仿造出光刻機(jī)？而他之所以能認(rèn)出照片中的光刻機(jī)，是因為在過往從業(yè)經(jīng)驗中，他已經(jīng)非常熟悉該公司產(chǎn)品。但對于一般人來說，彭譯鋒手持的照片，真的就只是一張照片，并不能稱之為圖紙。

　　通過這張照片，一般人很難看出光刻機(jī)各部件的尺寸、光源和光路等信息，更無法判斷這臺光刻機(jī)用的是透鏡、還是反射鏡，也無法判斷出這臺光刻機(jī)，是如何設(shè)計對板系統(tǒng)、以及如何操作光強(qiáng)測量校準(zhǔn)等。

圖｜彭譯鋒把照片作為圖紙（來源：B 站）

　　某知名國際半導(dǎo)體公司的高級光刻技術(shù)工程師陳歐文（化名）認(rèn)為，彭譯鋒視頻里的“光刻機(jī)”，就是直接從網(wǎng)上買來激光雕刻機(jī)成品，然后進(jìn)行了組裝。

　　只不過激光雕刻機(jī)，是在其他材料上進(jìn)行雕刻，而彭譯鋒則是使用激光束，對光刻膠進(jìn)行曝光，然后顯影出圖形來。

圖｜陳歐文表示視頻中的光刻機(jī)，淘寶就能買到

　　具體到分辨率上，和激光雕刻其他材料沒有差別，也沒有任何實用的技術(shù)點。并且，激光雕刻機(jī)嚴(yán)格意義上并不算是光刻機(jī)，所以完全談不上自制光刻機(jī)。

　　違背光刻機(jī)工作原理

　　李楊還認(rèn)為，彭譯鋒的視頻，肯定沒有使用光刻機(jī)工作原理。光刻技術(shù)的核心，是把光刻掩膜版上的圖形，轉(zhuǎn)移到硅晶圓上。

　　早期的接觸式和接進(jìn)式光刻機(jī)，其圖形是按照大小比例 1：1 轉(zhuǎn)移到硅晶圓。

　　而光刻機(jī)發(fā)展到投影式，掩膜版上的圖形是按照 4：1 或者 5：1 的比例轉(zhuǎn)到硅晶圓。彭譯鋒做的所謂“光刻機(jī)”，光路只有激光光源，既沒有掩膜版，也沒有光學(xué)透鏡組。

　　由于他是自己動手 DIY，受限于成本原因，他無法購買昂貴的透鏡，這固然可以理解，但如果投射到硅晶圓上圖形，只是激光光源的光斑，那就不是光刻，而只是簡單的曝光。

　　繞過光刻掩膜版，討論關(guān)鍵尺寸是毫無意義的，因為這根本不是光刻工藝需要完成的關(guān)鍵尺寸，所以也談不上任何技術(shù)難度。

　　在視頻中，彭譯鋒稱自己“光刻出 ~75µm（75000nm）的孔徑”，但是利用光源光斑，甚至能搗鼓出 50µm 或 20µm，但是沒有任何用處。因此在這種情況下，討論實現(xiàn)了多少納米，根本無從談起。

圖｜彭譯鋒稱自己“光刻出 ~75µm（75000nm）的孔徑”

　　75um 工藝放在 50 年前都很落后

　　李楊表示，在當(dāng)下半導(dǎo)體行業(yè)，Logic 工藝（該工藝是集成電路制造領(lǐng)域最為困難的部分）最先進(jìn)的是三星和臺積電，這兩家公司已經(jīng)量產(chǎn) 5nm 技術(shù)，并且正在攻堅 3nm 技術(shù)。

　　而 75µm 是 5nm 技術(shù)的 1.5 萬倍、是 3nm 技術(shù)的 2.5 萬倍。

　　當(dāng)前，中國國產(chǎn)芯片的“扛把子”中芯國際，已經(jīng)可以量產(chǎn) 14nm 的芯片，這樣來算，當(dāng)前中國最先進(jìn)的芯片技術(shù)，是彭譯鋒實現(xiàn)的“75µm 工藝”的 5375 倍。

　　“75µm 工藝”有多么落后呢？以摩爾定律的技術(shù)路線圖為例，從上面根本找不到 75µm的位置。

圖｜摩爾定律路線圖

　　陳歐文也告訴 DeepTech，早在 1971 年，英特爾就已發(fā)布首款微處理器 4004，并采用 10μm PMOS 技術(shù)生產(chǎn)。

　　目前市面上能買到的手機(jī)的處理器，比如麒麟 990、高通驍龍 865 等，都已使用 7nm 制程工藝，也就是比 75um 小一萬倍的工藝?？梢哉f，75um 放在 50 年前都不是先進(jìn)工藝。

　　校友發(fā)言：很少有人認(rèn)為學(xué)校宣傳有問題

　　DeepTech 采訪到彭譯鋒的校友——大連理工大學(xué)化學(xué)學(xué)院大三學(xué)生劉明蒿（化名），她表示，制備半導(dǎo)體在化學(xué)領(lǐng)域，也是一個熱門方向，這可能是彭譯鋒“自研光刻機(jī)”的原因。

　　針對該視頻，她說校內(nèi)老師們目前還沒有表態(tài)。在該校公眾號報道了彭譯鋒的視頻后，很多師生還轉(zhuǎn)發(fā)上述文章，并借機(jī)給學(xué)校做宣傳。

　　7 月 11 日下午，DeepTech在 B 站上聯(lián)系彭譯鋒，問他如何看待外界對于視頻的質(zhì)疑，他僅回復(fù)四個字：“玩具來的”。同日，該視頻已經(jīng)從 B 站刪除。

　　對于該視頻，前文的美國某量測設(shè)備供應(yīng)商技術(shù)專家李楊表示，在校學(xué)生動手創(chuàng)造值得肯定，學(xué)生的想法和動手能力，當(dāng)然不能被扼殺，但前提是原理不能出錯。不然就會畫虎不成反類犬，且會誤導(dǎo)更多不明真相的人。
西南交通大學(xué)信息學(xué)院電子工程系副系主任邸志雄博士則認(rèn)為，從作品實際效果來看，該同學(xué)連光刻技術(shù)的入門門檻，都沒有摸到。

　　他對于正膠、負(fù)膠等沒有基本概念，也分不清楚光刻技術(shù)、刻蝕技術(shù)和激光雕刻的區(qū)別。但對于二十來歲的大一學(xué)生來說，視頻中的實驗難度，遠(yuǎn)大于課堂上的實驗，他不僅敢想敢做，并能利用現(xiàn)有局限條件，實現(xiàn)出一個基本模型，工作完整性和可演示性也都尚可。

　　在他知識體系有限的情況下，做成這樣已經(jīng)很優(yōu)秀，不能過于苛責(zé)。實驗本身，也可以吸引更多人關(guān)注光刻機(jī)技術(shù)。如果他能夠提升知識體系和科研素養(yǎng)，未來一定可期。

　　清華大學(xué)新聞與傳播學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師沈陽也認(rèn)為，首先要鼓勵年輕人積極探索科學(xué)實驗，這有助于全民科學(xué)素養(yǎng)的提升。

　　他舉例稱，美國已經(jīng)有高中生在家做核試驗，中國在此還有很大提升空間。不管是在學(xué)校、在研究機(jī)構(gòu)還是在家，都應(yīng)鼓勵年輕人挑戰(zhàn)創(chuàng)新型科學(xué)實驗。

　　從本質(zhì)上說，科學(xué)研究服務(wù)于個人興趣，只有真正對它感興趣、才能做到極致。所以要提倡青少年基于興趣，來展開科學(xué)實驗，而非基于某一技術(shù)是否是當(dāng)下的“網(wǎng)紅技術(shù)”來做實驗。

　　國產(chǎn)光刻機(jī)應(yīng)冷靜對待現(xiàn)狀

　　光刻機(jī)技術(shù)，是當(dāng)前中國的“卡脖子”技術(shù)之一，某知名國際半導(dǎo)體公司的高級光刻技術(shù)工程師陳歐文認(rèn)為，國人應(yīng)該靜下心來、去研發(fā)真正可以投入實用的產(chǎn)品。

　　類似本次視頻發(fā)布之后，部分媒體的“放衛(wèi)星”行為，則會鼓吹不正之風(fēng)，而一些公司、科研單位和院校也樂于借助國內(nèi)光刻機(jī)困境博眼球。

　　但是，一定要認(rèn)清現(xiàn)狀。目前中國僅有的一家光刻機(jī)研發(fā)公司，是上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（簡稱 SMEE）， 雖然和業(yè)界頂尖的 ASML 差異巨大，但是已經(jīng)是可以做到 90nm 水平，并且有成品發(fā)布。

圖｜SMEE 的光刻機(jī)（來源：SMEE 官網(wǎng)）

　　陳歐文表示，荷蘭光刻機(jī)公司 ASML 早已領(lǐng)先業(yè)界，國內(nèi)光刻機(jī)研發(fā)僅有上海微電子一家，且該公司成立僅 18 年，并沒有多少積累，國家也沒有給予較多重視。網(wǎng)傳上海微電子十年間研發(fā)經(jīng)費(fèi)只有 6 億，而 ASML 的一臺高端光刻機(jī)，售價就是 6 億。

　　但陳歐文認(rèn)為，這總比沒有強(qiáng)，雖然也有報道稱上海微電子的光刻機(jī)、已經(jīng)應(yīng)用在國內(nèi)晶圓廠，但應(yīng)該只是一種合作試用，還談不上賣出去。

　　如果國內(nèi)晶圓廠，真的能把上海微電子的光刻機(jī)使用起來，雖然性能比較低，但通過在使用過程中發(fā)現(xiàn)問題、然后進(jìn)行升級迭代，也會非常有利于國產(chǎn)光刻機(jī)研發(fā)。

　　歐洲半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商 EVG 合作伙伴技術(shù)應(yīng)用經(jīng)理魏宏亮也認(rèn)為，相比國外光刻機(jī)公司，中國應(yīng)加強(qiáng)和使用端客戶的互動，在工藝中不斷完善和提升。具體來講，中國光刻機(jī)中的合金、光刻膠、備件、光路系統(tǒng)等材料，仍需快步追趕。

　　對于本次出現(xiàn)的夸張報道，清華大學(xué)新聞與傳播學(xué)院教授、博士生導(dǎo)師沈陽認(rèn)為，媒體在報道時，既要報道這類青少年參與科研的熱情，同時也要報道實驗中的不足。如果媒體沒有分辨能力，則需引入專業(yè)人士進(jìn)行點評。

　　只有這樣，才不會引起輿論泡沫，也有利于培養(yǎng)青少年的科學(xué)素養(yǎng)，并引導(dǎo)他們抱持理性態(tài)度搞科研。
創(chuàng)新素養(yǎng)的培養(yǎng)，是一個長期過程，不可能一蹴而就。而這種報道所引起的、網(wǎng)友“一哄而上”的浮夸之風(fēng)，反而會損害青少年的科技創(chuàng)新。

　　-End-

總結(jié)

以上是生活随笔為你收集整理的95后UP主“自制光刻机”，媒体夸大报道后遭行业专家“打假”的全部內(nèi)容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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