反型层与耗尽区
反型層
在半導(dǎo)體器件中,反型層是指在一個(gè)本征半導(dǎo)體的表面,形成與基本半導(dǎo)體類型相反的導(dǎo)電類型區(qū)域。例如,在n型半導(dǎo)體的表面上形成一個(gè)p型區(qū)域,或者在p型半導(dǎo)體的表面上形成一個(gè)n型區(qū)域。這種現(xiàn)象通常是通過(guò)施加電場(chǎng)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。
以場(chǎng)效應(yīng)晶體管(FET)為例,其中一個(gè)常見的場(chǎng)效應(yīng)晶體管類型是金屬氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)。MOSFET結(jié)構(gòu)包括一個(gè)底片(或襯底),通常是p型或n型硅半導(dǎo)體。在底片上,有一個(gè)絕緣層(通常為氧化硅),然后是一個(gè)導(dǎo)電金屬門極。當(dāng)在金屬門極上施加電壓時(shí),底片表面的半導(dǎo)體類型就會(huì)發(fā)生改變,形成反型層。
如果底片是p型半導(dǎo)體,當(dāng)門極電壓足夠高時(shí),底片表面會(huì)形成一個(gè)n型反型層。反之,如果底片是n型半導(dǎo)體,當(dāng)門極電壓足夠高時(shí),底片表面會(huì)形成一個(gè)p型反型層。
耗盡區(qū)
半導(dǎo)體器件中的耗盡區(qū)(depletion region)是指P型半導(dǎo)體與N型半導(dǎo)體接觸形成的電荷空穴的區(qū)域。它的形成機(jī)理如下:
P型半導(dǎo)體中空穴的濃度高,N型半導(dǎo)體中電子的濃度高。當(dāng)兩者接觸時(shí),空穴會(huì)擴(kuò)散到N區(qū),電子會(huì)擴(kuò)散到P區(qū)。擴(kuò)散過(guò)程會(huì)使P區(qū)失去空穴,N區(qū)失去電子,在兩端形成電荷空穴,這些區(qū)域稱為耗盡區(qū)。耗盡區(qū)中的空穴會(huì)產(chǎn)生內(nèi)置電場(chǎng),該電場(chǎng)會(huì)阻止更多載流子的擴(kuò)散,最終達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡。耗盡區(qū)中的空穴會(huì)隨著外加電壓的變化進(jìn)行重新分布,從而控制P-N結(jié)兩端的電勢(shì)差,實(shí)現(xiàn)整個(gè)器件的功能。
耗盡區(qū)的主要特征有:
幾乎不含任何載流子,是電中性的。產(chǎn)生內(nèi)置電場(chǎng),阻止載流子擴(kuò)散。隨外加電壓改變而改變空穴的分布,控制P-N結(jié)的電勢(shì)差。寬度較窄,一般為微米級(jí)。起到分隔和屏蔽P區(qū)和N區(qū)的作用。所以,耗盡區(qū)是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體器件功能的關(guān)鍵區(qū)域之一。它的形成和改變直接決定了整個(gè)器件的電氣特性。
總結(jié)
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