本文介紹了微機電系統(MEMS)加速度計的多項特性，它們使得該技術對狀態監控應用極具吸引力。本文通過回顧一些數據來說明MEMS技術的發展狀況及性能水平，并將其與商用壓電(PZT)狀態監控加速度計進行比較。

對MEMS工藝技術的投資加上設計創新，已大大改善MEMS性能，使得MEMS足以成為更廣泛狀態監控應用的可行選擇。采用專門化MEMS結構和工藝技術，現在已實現諧振頻率高達50 kHz、噪聲密度低至25 ?g/ Hz的加速度計。通過精心設計的信號調理電子電路，可以充分發揮此類新型加速度計的低噪聲優勢。

SiA202 | 參數 備注 單位 最小值 典型值 最大值
量程 g ±2
非線性 IEEE Norm , %全量程 % 0.3 1.0
頻率響應 -3dB Hz 200
諧振頻率 過阻尼 kHz 1.4
振動整流誤差 均值頻率 [50Hz , 2kHz] μg/g2 1300
噪聲 頻帶內 μg/√Hz 7
分辨率 @1Hz μg rms 7
啟動響應時間 工作延時運動一次 μs 40
偏值（K0）溫度系數 測定范圍[-40℃， 85℃] μg/℃ 75
綜合偏值（K0）誤差 溫度范圍[-40℃， 85℃] mg 0.14
標度因數（K1）溫度系數 測定范圍[-40℃， 85℃] ppm/℃ 20 120 220
綜合標度因數（K1） 溫度范圍[-40℃， 85℃] mV/g 1330 1350 1370
溫度傳感輸出電壓@20℃ V 1.20 1.23 1.26
溫度傳感靈敏度 mV/℃ -4.0
復位閾值電壓 低電平有效 %VDD 20
工作電壓 V 3.2 3.3 3.4
工作電流 mA 2.3 4

總結

以上是生活随笔為你收集整理的MEMS加速度计性能测评的全部內容，希望文章能夠幫你解決所遇到的問題。

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