光刻膠用于與半導體核心材料、面板、PCB板以及 LED領域

光刻膠簡介及應用領域

?光刻膠是圖形轉移介質，其利用光照反應后溶解度不同將掩膜版圖形轉移至襯底上。目前廣泛用于光電信息產業的微細圖形線路加工制作，是電子制造領域關鍵材料。以半導體光刻膠為例，在光刻工藝中，光刻膠被均勻涂布在襯底上，經過曝光(改變光刻膠溶解度)、顯影(利用顯影液溶解改性后光刻膠的可溶部分)與刻蝕等工藝，將掩膜版上的圖形轉移到襯底上，形成與掩膜版完全對應的幾何圖形。光刻工藝約占整個芯片制造成本的 35%，耗時占整個芯片工藝的 40-60%，是半導體制造中較核心的工藝。

?光刻膠主要由感光劑(光引發劑)、聚合劑(感光樹脂)、溶劑與助劑構成。光引發劑是光刻膠的較關鍵成分，對光刻膠的感光度、分辨率起著決定性作用。感光樹脂用于將光刻膠中不同材料聚合在一起，是構成光刻膠的骨架，決定光刻膠包括硬度、柔韌性、附著力等基本屬性。溶劑是光刻膠中較大成分，目的是使光刻膠處于液態，但溶劑本身對光刻膠的化學性質幾乎沒影響。助劑通常是專有化合物，由各家廠商獨自研發，主要用來改變光刻膠特定化學性質。

?光刻膠分類方式較多，一般按以下三種方式分類：

1)按化學反應原理和顯影原理不同可分為正性光刻膠跟負性光刻膠；

2)按原材料化學結構不同，可分為光聚合型、光分解型與光交聯型；

3)按下游應用 領域不同可分為半導體用光刻膠、面板用光刻膠、PCB 光刻膠。

? ? ?光刻膠下游領域主要包括半導體、面板、PCB 以及 LED 等行業。光刻膠自 1959 年被發明以來一直是半導體核心材料，隨后被改進運用到 PCB 板的制造，并于 20 世紀 90 年代運用到平板顯示的加工制造。較終應用領域包括消費電子、家用電器、汽車通訊等。

光刻膠行業發展方向基本由下游需求決定，其中半導體領域是技術門檻較高的子領域。

? ? ?光刻膠產品是電子化學品中技術壁壘較高的材料之一，其不僅具有純度要求高、工藝復雜等特征，還需要相應光刻機與之配對調試。一般一塊半導體芯片在制造過程中需要進行 10-50 道光刻過程，由于基板不同、分辨率要求不同、蝕刻方式不同等，不同的光刻過程對光刻膠的具體要求也不一樣，即使類似的光刻過程，不同的廠商也會有不同的要求。針對不同應用需求，光刻膠的品種非常多，這些差異主要通過調整光刻膠的配方來實現。因此，通過調整光刻膠的配方，滿足差異化的應用需求，是光刻膠制造商較核心的技術。

市場規模

?根據智研咨詢統計，2015 年全球光刻膠規模約為 73.6 億美元，其中 PCB、LCD、半導體光刻膠需求各為 24.5%、26.6%、24.1%。中國光刻膠市場規模在 100 億元左右，其中 PCB 是較大細分子市場，占據半數以上市場份額，LCD 市場處于快速發展中，國內市場規模占比較半導體光刻膠高，半導體市場是技術門檻較高的子行業之一，也是目前國內市場占比較小光刻膠子行業。

隨著半導體圖形越來越小，光刻工藝對光刻膠量的需求也越來越大，光刻膠在原材料中占比也穩步提升。根據 SEMI 的數據，預計 2016年光刻膠占晶圓制造材料比例約為 5.76%，對應全球半導體光刻膠市場總規模為 14.4 億美元。2015 年國內光刻膠市場空間約為 18 億元，中芯國際等本土晶圓制造公司蓬勃發展將帶動上游光刻膠需求增加，我們預計未來國內半導體光刻膠市場將保持 10%增速(2011-2015 國內半導體光刻膠 GAGR=13.6%)，到 2020 年全國半導體市場規模將達到34.09 億元。

1-丙烯酸金剛烷酯 121601-93-2

1-金剛烷基甲基丙烯酸酯 16887-36-8

丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 7398-56-3

4-乙酰氧基苯乙烯 2628-16-2

1,3-金剛烷二醇單丙烯酸酯 216581-76-9

2-甲基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 249562-06-9

2-乙基-2-金剛烷基丙烯酸酯 303186-14-3

1,3-金剛烷二醇二丙烯酸酯 81665-82-9

2-氧代六氫-2H-3,5-亞甲基環戊二烯并[b]呋喃-6-基甲基丙烯酸酯 254900-07-7

甲基丙烯酸三環[5.2.1.02,6]癸-8-基酯 34759-34-7

2-異丙基-2-金剛烷丙烯酸甲酯 297156-50-4

2-異丙基-2-金剛烷醇丙烯酸酯 251564-67-7

gamma-丁內酯-3-基異丁烯酸酯 130224-95-2

N-異丙基甲基丙烯酰胺 13749-61-6

(9H-芴-9,9-二基)雙(亞甲基)二丙烯酸酯 583036-99-1

(5-氧代四氫呋喃-2-基)甲基丙烯酸甲酯 156938-09-9

1-乙基環戊基甲基丙烯酸酯 266308-58-1

1-異丙基-1-環己醇甲基丙烯酸酯 811440-77-4

2-甲基-2-丙烯酸4-羥基苯基酯 31480-93-0

n-butyl2-(bromomethyl)prop-2-enoate 170216-64-5

2-(溴甲基)丙烯酸甲酯 4224-69-5

甲基丙烯酸-9-蒽甲酯 31645-35-9

2-oxo-2-((2-oxohexahydro-2H-3,5-methanocyclopenta[b]furan-6-yl)oxy)ethylmethacrylate[ 347886-81-1

2-乙烯基萘 827-54-3

2-環己基丙烷-2-基甲基丙烯酸酯 186585-56-8

2-甲基-丙烯酸2-氧代-四氫-呋喃-3-基酯 195000-66-9

丙烯酸甲基環戊酯 178889-49-1

丙烯酸1-乙基環戊酯 326925-69-3

2-氧代四氫呋喃-3-基丙烯酸酯 328249-37-2

4-叔丁氧基苯乙烯 95418-58-9

4-(4-(丙烯酰氧基)丁氧基)苯甲酸 69260-42-0

甲基丙烯酸-2,2,3,3,4,4,4-七氟代-丁酯 13695-31-3

3-(4-vinylphenyloxy)-1-propene 16215-47-7

acetic acid,4-ethenylbenzene-1,2-diol 57142-64-0

1-(1-乙氧基乙氧基)-4-乙烯基苯 157057-20-0

1-甲基環己基甲基丙烯酸酯 76392-14-8

2-氧代-2-(2,2,3,3,3-五氟丙氧基)乙基甲基丙烯酸酯 1176273-16-7

2,5-二甲基己烷-2,5-二基雙(2-甲基丙烯酸酯) 131787-39-8

1-甲基環戊基甲基丙烯酸酯 178889-45-7

1-乙基環己基甲基丙烯酸酯 274248-09-8

4-異丙基苯酚 4286-23-1

(2-oxo-1,3-dioxolan-4-yl)methyl 2-methylprop-2-enoate 13818-44-5

乙酸-2-乙烯基苯基酯 63600-35-1

2-(金剛烷-1-基)丁-2-基甲基丙烯酸酯 325991-26-2

1-ethoxyethyl 2-methylprop-2-enoate 51920-52-6

甲基丙烯酸四氫呋喃-2-基酯 15895-80-4

oxan-2-yl 2-methylprop-2-enoate 52858-59-0

6-methacryloyl-6-azabicyclo[3.2.0]heptan-7-one 1267624-16-7

3-叔丁氧基苯乙烯 105612-79-1

2-丙烯酸3-(二乙氧基甲基甲硅烷基)丙基酯 13732-00-8

2,3-二羥基丙烯酸丙酯 10095-20-2

2-[(4-乙烯基苯氧基)甲基]環氧乙烷 2653-39-6

3,5-二乙酰氧基苯乙烯 155222-48-3

2-(2,2-二氟乙烯基)雙環[2.2.1]庚烷 123455-94-7

二苯基碘酰氯 1483-72-3

雙［4-(1,1-二甲基乙基)苯基］碘鎓與三氟甲磺酸的鹽 84563-54-2

全氟丁基磺酸三苯基锍鹽 144317-44-2

雙(4-叔丁基苯基)氯化碘鎓 5421-53-4

TBPDPS-PFBS 258872-05-8

1二(4-叔丁基苯基)碘鎓全氟代丁烷磺酸鹽 194999-85-4

(4-苯基硫代苯基)二苯基锍三氟甲磺酸 111281-12-0

N-羥基萘酰亞胺三氟甲磺酸 85342-62-7

六氟二酐（6FDA) 1107-00-2

9,9-雙(3-氟-4-氨基苯基)芴 (FFDA) 127926-65-2

9,9-雙(4-氨基苯基)芴 （FDA) 15499-84-0

4,4’-二氨基-2,2’-二甲基聯苯 (M-Tolidine) 84-67-3

2,2-雙(3-氨基-4-羥基苯基) 六氟丙烷 83558-87-6

1,3-雙(3-氨基苯氧基)苯 (APB) 10526-07-5

4,4'-雙(4-氨苯氧基)聯苯(BAPB) 13080-85-8

1,3-雙(4-氨苯氧基)苯 2479-46-1

4,4-二氨基聯苯-2,2-二羧酸 17557-76-5

2,2'-雙(三氟甲基)-4,4'-二氨基苯基醚 344-48-9

ODA 4,4'-二氨基二苯醚 101-80-4

BAPP 2,2'-雙[4-(4-氨基苯氧基苯基)]丙烷 13080-86-9

TPE-Q 1,4-雙(4-氨基苯氧基)苯 3491/12/1

BPADA 雙酚A型二醚二酐 38103-06-9

BTDA 3,3',4,4'-二苯甲酮四甲酸二酐 2421-28-5

BPDA 3,3',4,4'-聯苯四羧酸二酐 2420-87-3

CBDA 環丁烷四甲酸二酐 4415-87-6

DABA 3,5-二氨基苯甲酸 535-87-5

TFMB 2,2'-雙(三氟甲基)二氨基聯苯 341-58-2

A-BPDA 2,3,3',4'-聯苯四甲酸二酐 36978-41-3

BOAFL 9,9-二[(2,3-環氧丙氧基)苯基]芴 47758-37-2

TCA 四氫-1H-5,9-甲烷吡喃并[3,4-d]噁英-1,3,6,8(4H)-四酮 6053-46-9

ODPA 4,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 1823-59-2

A-ODPA 3,4'-氧雙鄰苯二甲酸酐 50662-95-8

HFBAPP 2,2-雙[4-(4-氨基苯氧基)苯基]-1,1,1,3,3,3-六氟丙烷 69563-88-8

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總結

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