ESD标准文件
一. 控制規范文件類1 有建立《靜電/漏電/EOS的實施與控制規范文件》; 2 有靜電/漏電/EOS的控制管理團隊; 3 有專人對靜電/漏電/EOS進行控制改善提升; 4 有建立定期的內部稽查及內審機制; 5 有獨立的品質稽查機制及將客戶的要求轉換成日常監督執行點檢報表; 6 有建立《每日/月/季/年度防靜電核查點檢表》 7 有規范的ESD上崗培訓、再培訓與測評制度 8 有正式的作業指導書(腕帶和人體電阻測試方法、離子風機使用方法、接地監控儀使用方法等)指導員工如何進行正確的防靜電操作 9 有建立防靜電耗材的來料檢驗控制機制;
二. 職工培訓要求 10 質量體系及靜電防護文件中有操作員工和技術質量管理等人員的分層次培訓和考核管理條文;11 防靜電管理骨干人員需要接受過系統的專業ESD培訓;12 對員工培訓應有培訓計劃,現場隨機考核操作員工及技術管理人員(可口頭及實際操作);13 培訓和考核有記錄與存檔,其涉及ESD工作人員總數的95%,要求企業有兩年記錄;14 有根據公司的實際運作情況及客戶要求編制ESD培訓教材;新員工上崗操作前應完成ESD培訓及考核,上崗合格證上有明確的考核合格說明;15 對作業現場環境、關鍵工序控制點的最新ESD數據需要有專人負責匯集和分析處理;
三. EPA硬件組成 16 配備有人體靜電防護用品:包括防靜電工作服、防靜電帽、防靜電鞋(或鞋套)、防靜電手腕帶、防靜電手套(防靜電手指套)等;17 配備有防靜電的物流運輸用品:包括防靜電包裝(袋、盒、箱、托盤等)、防靜電填充材料(泡沫、發泡材料)、運轉車、周轉器具、存放架(柜)、傳輸帶等;18 安裝有防靜電地板;點對點電阻與接地電阻1.0×105Ω~1.0×109Ω,-100V<摩擦電壓<100V?;19 SMT車間墻壁采用防靜電彩鋼板,并良好接地;20 防靜電操作系統:包括防靜電工作臺;防靜電椅(凳)、防靜電工具(如:烙鐵、吸錫器、氣動或電動工具)等;21 防靜電接地系統:防靜電獨立接地系統或與其它幾種接地共用系統,靜電與設備采用獨立接地系統時有進行等電位連接;22 環境控制系統:空調溫濕度控制、加濕及抽濕設備;23 除靜電設施:離子風機、離子風搶等其它除靜電器;24 車間出入口應配備“人體綜合電阻測試儀”(SMT需配合門禁系統使用),人員測試合格記錄后,方可進入車間25 靜電測量(監控)系統:靜電場測試儀、重錘式靜電電阻測試儀(配套標準測試電極)、靜電消除分析儀、接地電阻測試儀,腕帶接地報警器、溫濕度記錄儀、萬用表、塵埃粒子計數器、示波器(帶寬≥500M);
四. 環境要求 26 SMT應為潔凈車間,出入口安裝有風淋室、貨淋室(風淋時間≥10s),由初,中,高三級空氣過濾的空調送風回風和排風系統;潔凈度標準:0.5μm塵埃粒子<10萬級(動態);每周至少檢測一次,相關記錄數據保存期限1年(電子檔或紙檔);27 潔凈工作臺/潔凈棚:0.5μm塵埃粒子<1000級(動態),每天至少檢測一次,相關記錄數據保存期限1年(電子檔或紙檔);28 溫度控制標準:16℃-28℃29 "濕度控制標準:45%-75%(裝配、倉儲)、45%-60%(SMT);
當濕度低于50%或者高于70%,需發出報警文件,溫濕度異常時應有應急處理措施;"30 生產環境內配備有計量合格的溫濕度檢測設備,放置于能反應平均溫濕度的位置,且至少每4小時有一次環境測試記錄;31 不允許不符合ESD規范的人員(包含外來及參觀人員)進入EPA控制區域, EPA區域必須貼有明確的區域界限和防靜電警示標志;每一個防靜電工作區都需用膠帶圍起來(優先選用黃黑相間的班馬紙),并在邊界線的四個角明顯位置貼上防靜電工作區標識標簽;32 EPA區域內的操作工位,工藝文件應明確是否為“防靜電工位”,需采取哪些防靜電措施;33 防靜電地線與設備地線應采用不同的顏色區分標識(有文件明確定義),每一個單獨的工作臺或接地插座應有明確的地線區分標識;
五. 防靜電工衣、工帽、工鞋 34 "生產車間內所有人員需配備防靜電大褂與防靜電工帽;
面料:不發塵,由長纖聚酯纖維+復合紡絲型導電纖維組成,不可使用襯里;
紗線纖度:75D 48F
經緯密度:經密≥185條,緯密≥124條
紋路:0.25cm網絡;
款式:防靜電立領大褂,包縫(卷邊、三折邊、滾邊、四折邊)設計,服裝上不得使用金屬附件,必須使用(鈕扣、拉鎖等)時,應保證穿著時,鈕扣、拉鎖不得直接外露;
接縫:導電縫紉線;
性能要求:點對點電阻&袖對袖電阻:1.0×105Ω-1.0×109Ω,-100V<摩擦電壓<100V?;"35 防靜電大褂衣須在更衣室/鞋廳更換,不允許在ESD區域、車間內穿或脫;36 禁止在工衣上附加或佩戴與工作無關的金屬物品或裝飾品;37 不能把非防靜電衣的衣領翻出蓋住防靜電服的衣領,防靜電服的拉鏈拉滿后,須將所有扣子均扣好,非防靜電上衣不可露在防靜電工作服外面,不準將防靜電服的袖子挽起;38 不準佩戴塑膠手表、手飾等與工作無關的裝飾物品;39 "防靜電大褂衣、工帽應保持清潔,統一集中安排清洗(裝配:1次/月 SMT:1次/半月),不允許員工私自清洗;
1. 水質要求:清潔全過程使用電子級的高純度去離子水(配套DI水處理系統);
2. 清洗劑要求:非離子性的表面活性劑,DH值為中性;
3. 洗衣烘干設備:通道型(無塵專業洗衣機),帶HEPA無塵級專用干衣機;
4. 清潔完成后,必須在無塵室(千級)內進行包裝等操作;
5. 清潔完成后測試項目:按照GB2828的一般檢驗水平I級方案(AQL:0.65)進行ESD測試、落塵量測試,應滿足要求;"40 防靜電大褂衣清洗后應對其防靜電性能進行檢測(點對點電阻:1.0×105Ω-1.0×109Ω,-100V<摩擦電壓<100V?),檢測合格方可投入使用;41 防靜電帽應佩戴工整,最大范圍的包裹住頭發,避免頭發露出防靜電工帽外;42 進入車間的所有人員均需配備防靜電工鞋;43 如果外來人員沒有配備工鞋,進入EPA時需要佩戴防靜電鞋套,禁止佩戴普通鞋套進入車間;44 穿防靜電鞋時可以穿棉質的襪子或不穿襪子,但不得另加絕緣性鞋墊;45 不得在鞋底粘貼絕緣膠片或其它材料,需保持鞋底的清潔;46 穿防靜電鞋時坐式操作的員工應保證工鞋鞋底接觸地面;47 防靜電工鞋每月至少清洗一次,以保證良好的接地性;48 禁止在作業現場是更換工衣、工帽及脫工鞋;49 人員通過鞋-地板系統接地,系統電阻是否在:1.0×105Ω~1.0 x 109Ω范圍
六. 防靜電手套或指套 50 操作人員在不便使用有繩防靜電手腕帶的崗位,如流動操作崗位/搬運工位,須使用防靜電手套;站立或坐式固定操作,必須佩戴防靜電手腕帶;51 防靜電手套或指套表面破損、較舊和臟污時應及時更換;52 防靜電手指套為一次性用品,不可重復利用;53 防靜電手套&防靜電手指套CAFE電阻: 1.0×105~1.0×109 Ω ,-100V<摩擦電壓<100V?;
七. EPA接地 54 靜電、設備接地地樁:被接地體與大地之間接地引線、接地極、接地極與土壤之間和土壤溢流電阻的總和<1Ω;55 使用紫銅材質,室外銅排截面積要求≥200mm2,室內銅排截面積要求≥100mm2;銅排之間的連接采用放熱焊接,室內銅排施工時采用PVC套管加金屬架的方式固定,先把銅排全部架上去固定后,再統一安排焊接,焊點位置的PVC管加接頭連接,方便后續檢修;100mm2銅排與6mm2單芯導線的連接采用線耳+螺釘+螺母+防松防氧化的固定方式;56 支干線截面積≥6mm2單芯銅導線(長度≤20m);57 靜電、設備支干線(拉頭至拉尾貫穿)截面積≥6mm2單芯銅導線;58 最小(最終)接地單元的截面積≥1.5mm2(或使用行業標準接地線),如使用轉接排(或端口)的接地單元線截面積≥2.5mm2銅導線(≤3m);59 所有靜電、設備地線的接地點、支線連接頭必須纏繞三圈后再焊接牢固,采用香蕉插頭連接時,采用焊接方式連接牢固;60 手腕帶、靜電席的接地采用插頭插座的方式連接,嚴禁采用鱷魚夾等不可靠的方式;61 接地點采用螺絲固定時,螺絲應擰緊,輕碰不可松動;多股的接地線不能有斷股現象;62 物料架需采用“導電輪或金屬輪”并外加“接地鏈條”接地;63 所有防靜電設施(靜電席、防靜電地板、推車…)都接入靜電地,等電位接地電阻1.0*105Ω~1.0×109Ω64 所有設備、儀器、金屬體需要可靠的接地,電源插頭座,應選用安全型三芯插頭;65 儀器設備、夾具端的接地線,需用閉環式接地片鎖在儀器設備夾具金屬外殼的螺釘上;66 所有接地、接地點的連接采用香蕉插頭、插孔、螺絲固定的連接方式,并具有一定的機械強度和良好的電器連接,可選用扎線固定并成“U”形,防止拉扯地線時,焊接處松動;67 所有設施單獨與地線相連接,不可串接,接錯位置;68 所有接地需用閉環式接地片(線耳),采用壓線鉗壓接好后再在耳端加錫焊接牢固;69 設備端的地線應直接連接在外殼本體上;多股的接地線不能有斷股現象;70 要求測量、試驗、儀器、設備、夾具等金屬外殼的設施對設備主干線之間的交流電壓應<0.3V、接地電阻<4Ω(接地電阻以斷電情況下測試為準);71 "烙鐵(設備)焊頭與接地極之間的電阻應<4Ω,烙鐵氧化時放寬接受至電阻<20Ω(通電狀態下測試),漏電<0.3V AC;
電批批頭金屬卡環對地電阻<4Ω,漏電<0.3V;"
八. 防靜電手腕帶 72 禁止使用無繩防靜電手腕帶;73 固定崗位和坐式崗位操作員必須佩戴防靜有線手腕帶,在操作ESDS前應佩戴好防靜電手腕帶;腕帶佩戴方法:將腕帶扎于手腕最細處內或外側,不能松動,手腕感覺四周握緊;保證手腕帶內表面及其接地扣與皮膚良好接觸,不得隔以衣物及手套,接地線與EBP連接;操作注意事項:先戴好防靜電手腕帶,再拿靜電敏感器件ESDS,先放下靜電敏感器件ESDS,再拔防靜電手腕帶;74 防靜電手腕帶接地應采用香蕉插頭、插孔的連接方式,不可使用鱷魚夾直接夾在靜電地線的接地方式;75 生產線所有配有防靜電手腕帶的工位都需配備“靜電報警系統”,其報警指示燈應安裝在本崗位員工能觀察到的位置;當員工離開工位不用防靜電手腕帶時,“靜電報警系統”應處于聲音關閉狀態,當員工歸位重新啟用防靜電手腕帶時“靜電報警系統”應處于正常工作狀態,指示燈應顯示為綠色,不閃爍無報警聲音方可進行作業;76 生產線靜電報警器的安裝位置,要便于員工查看、管理人員監督;產線在生產時,管理人員應督促每位員工自檢防靜電手腕帶及其靜電報警器是否正常,并作好記錄;77 防靜電手腕帶接觸不良,導致靜電報警器頻繁報警及INT的應立刻更換解決;78 人員通過防靜電手腕帶接地,系統電阻需在1.0×105Ω~3.5×107Ω范圍內;
九. 防靜電席 79 按照工作臺面的大小選擇所需的防靜電席的尺寸,確定鋪放臺墊的面積;靜電席應采用專用接地扣接入靜電地線;80 在使用過程中應保持靜電席的上下兩面的清潔干凈(嚴禁粘貼膠紙、雙面膠、美紋紙、區域劃分膠帶,嚴禁亂寫亂畫),靜電席的下面不得墊有其它雜物;81 防靜電席的接地扣的要求:要求將接地扣的四角抓手從正面綠色面穿過臺墊并在黑色導電層面將其壓緊,以保證電接觸良好;一張靜電席上只允許有一個接地點;82 破損(如:刀痕、缺口、缺塊)、老化(如:發硬、電性能變化),臟污的靜電席應立刻更換;83 所有區域安裝的防靜電席必須可靠接地;表面電阻/點對點電阻/系統電阻:1.0×105~1.0×109Ω,-100V<摩擦電壓<100V?;
十. 離子靜電消除器 84 有防靜電要求的工位,在不能有效泄放靜電的場合,如撕貼保護膜、高溫膠紙等工位、應采用交流電離器通過電離空氣產生的正負離子,來防止和中和在元器件上及其它物體上的電荷積累;使用距離10~30cm,保持中大檔風量(不允許使用直流離子風機);85 EPA區域禁止使用普通風槍、風扇對著ESDS吹拂;86 至少每周進行1次維護保養和除靜電性能測試確認:保養后靜電消散時間<1.5s,-35V<離子平衡度<35V,如測試異常應進行檢修,合格后方可投入使用;離子風機測試距離選擇為10~30cm,離子風搶/棒等其它除靜電設施測試距離為15cm,使用當前工作狀態風量進行測試;87 SMT絲印機前需增加除靜電設施,消除PCB上的靜電;所有可能與金屬材質治具接觸(分板、滴膠等),產品在接觸前應采取除靜電設施;88 離子風機在使用時,出風口需正對操作區域,距離10~30cm,進出風口位置不能有雜物遮擋;離子風棒等其它除靜電設施距離操作區域15cm,特殊崗位無法滿足10~30cm的,請與BlueESD負責人溝通協商;89 靜電消除器日常使用過程中,-35V<離子平衡度<35V,靜電消散時間要求從1000V下降到100V的時間<2s;
十一. 防靜電工作臺 90 多臺防靜電工作臺、防靜電設施、儀器設備的接地線不能相互串接,應并聯接地;91 EPA內的各種設備、儀器、工裝、工具(如:鑷子)都應實施靜電防護措施,接觸或靠近ESDS的部分要使用防靜電材料制作(如:貼片夾具),不可用金屬材料制作,如采用了金屬材料無法避免,應采取離子靜電消除措施;產品經過的路徑存在金屬導體的(如:皮帶拉拉桿),金屬導體上需覆蓋防靜電材料;92 "防靜電工作臺上不允許存放塑料盒、塑料托盤、橡皮筋、玻璃、泡沫、PE袋、膠紙、錫膏瓶蓋等易產生靜電的物品;
非防靜電物品需物理間隔30cm以上,或使用除靜電設施下使用;"93 防靜電工作臺、防靜電席、貼片機等其它防靜電的容器設施、及工具物品上不允許粘貼膠紙、美文紙;94 防靜電工作臺上所有對ESDS操作的工具需為防靜電工具、且都有ESD標識;工作臺上貼有的ESD標識應未過有效期;95 工作臺裝了離子風機,在工作時應打開,并保證其位置正確;96 EPA區域的操作者所坐的工作椅必須具有防靜電性能,椅面、腳輪是否都采用防靜電材料;不得使用普通人造革面或塑料面的椅子,不得使用全金屬面凳子,不能用木制椅代替防靜電椅,防靜電椅上不可墊或貼其它非防靜電的物品;表面電阻/系統電阻:1.0×105~1.0×109Ω;97 所用條碼掃描槍需防靜電;98 鼠標、鍵盤、顯示器應采取靜電防護措施,如無法滿足應與產品不再同一工作平面上,至少物理隔離30cm99 -100V<SMT車間各個工位的靜電壓控制應<±100V;-200V<裝配車間各個工位的靜電壓控制應<200V;每周至少對各工序的靜電電壓進行1次測試,并記錄相關測試數據(保留電子檔或紙檔);
十二. 防靜電容器及包裝材料的使用 100 "PCBA和ESDS必須使用防靜電膠箱、防靜電元件盒、防靜電膠袋、防靜電托盤盛裝;
超過1小時不使用的ESD物料及半成品組件,需使用防靜電托盤或防靜電膠箱蓋加蓋,做防塵、屏蔽處理;"101 ESDS在儲存過程中應保持原包裝,若需要更換包裝時,要使用具有防靜電性能的專用包裝,不得任意使用普通塑料袋、普通塑料盒等容器,也不得隨意倒入抽屜,柜子里;102 防靜電膠箱、防靜電元件盒、防靜電膠袋、防靜電托盤、防靜電席等防靜電設施上不允許粘貼膠紙;103 防靜電工作區域內應使用防靜電的膠箱及防靜電的卡板,在任何區域需防靜電的膠箱不得與非防靜電的膠箱疊放;104 所有PCBA及其靜電敏感器件、組件禁止使用普通金屬鋁盤傳遞、運輸及存儲;105 非防靜電輔料,例如:USB硅膠套、耳機硅膠套等,需使用防靜電容器來盛裝;106 采用防靜電的容器來盛裝高靜電的廢料垃圾雜物時,其高靜電的廢料垃圾雜物應完全擱置在防靜電的容器內,不得超過防靜電容器的上沿;107 生產線上EPA內的ESDS周轉使用防靜電周轉容器進行轉運和儲存,防靜電性能要求:表面電阻/點對點電阻/系統電阻:1.0×105~1.0×109Ω,-100V<摩擦電壓<100V;108 EPA區域外的ESDS包裝組合方式:內包裝采用起電低的靜電耗散類 + 中間包裝采用靜電屏蔽類 + 外包裝采用常規性能的普通包裝;包裝材料防靜電性能要求:靜電屏蔽材料電阻:1×105Ω≤R<1×1011Ω、摩擦電壓:U<100V、耦合能量:E<50nJ、屏蔽殘余電壓:U<50V;
十四.EPA工具 109 所有用于取放的吸嘴,吸盤,夾子應為耗散性材料;110 EPA工作區域內使用的防靜電手持工具接觸ESDS的部分應采用耗散性材料,電阻在:1.0×105Ω~1.0×109Ω范圍內,接觸ESDS端與手握部分為導體,并能通過人體接地,實現靜電的釋放;
十四. 防靜電敏感區域的防靜電規范 111 所有的PCBA、ESDS(靜電敏感器件)及其部件的操作必須在靜電安全工作臺上鋪設的靜電席或夾具上進行,不得在其物料或貼紙上操作,不得在非防靜電的物料加工區進行存放、加工操作,不可將靜電敏感器件直接與金屬工作臺面上操作;112 貯存和運輸ESDS及其部件時,應妥善進行防靜電包裝(ESDS不可與拖車、物料架上的金屬結構體直接接觸)113 物料架及推車上嚴禁粘貼非防靜電的膠紙斑馬膠帶;114 拒絕接受未包裝在防靜電容器里的ESDS;115 所有用非防靜電材料包裝的電子元器件、塑膠外殼、物料都應在指定的靜電泄放區域,經過拆包和靜電泄放處理后,方可用防靜電中轉容器將其轉到靜電敏感區域;116 不允許在靜電敏感區域內存放和處理非ESD的材料,不允許在非靜電敏感區域內存放和處理未包裝的ESDS,不允許非ESD的材料與ESDS混放;117 不得隨意拆除和改變ESDS的封裝,運送全過程應在防靜電容器中進行,清點也盡可能在原包裝內完成;118 測試ESDS時必須遵守加電和去電順序,嚴禁帶電插拔ESDS;119 清洗ESDS及PCB等其部件時,不得使用普通塑料刷,應使用防靜電刷;120 ESDS器件初始包裝應在靜電敏感區域內完成,并要用防靜電材料包裝;完成了初始包裝的ESDS器件進行二次包裝時可以在非ESD區域內完成,也需要防靜電材料;121 新機型和新布置的生產線或工位等都應進行ESD認可;完成《OEM&ODM廠新開線體及制程變更ESD點檢表》填寫(需保留6個月內的紙質記錄)后給Blue審核合格方可投產;122 新投入防靜電敏感區域的防靜電材料,包括主料,輔料和包裝材料、新投入防靜電敏感區域的防靜電工具等都應進行ESD認可,只有認可合格后,生產線才可使用;123 電木等防靜電的夾具上不可打有白膠,粘貼膠紙、美紋紙、高溫膠紙等;124 倉儲、SMT一個物料架上只允許放置一種類型的物料,需防靜電的物料與非防靜電的物料不放置在一個物料架上;125 SMT貼片機裝廢“載帶”的容器內不允許存放其他雜物垃圾;貼片站位排列時需防靜電物料可以與電阻、電容、電感排列在一起,但嚴禁與非防靜電物料排列在一起;如無法避免與非防靜電物料排列在一起(也未能隔離30cm),非防靜電物料(如:五金接插件、結構件等)應采用離線式物料架隔離放置;
十五. EOS 126 日常維護、轉機型換測試夾具、儀器或生產設備、升版測試工具、新增測試工具等EOS常規檢查流程,制訂出Blue認同的流程;127 所有測試夾具設計要防止熱插拔,上電時序需階梯上電,夾具測試針板的接地針需比其他針長>1mm,做到測試時先接地;128 EOS檢查范圍、原則、測試方法、判定標準需經過Blue工程確認,日常檢查周期不能低于2月每次;有真實可靠的檢測記錄;129 針對需要測試EOS的儀器、設備、夾具,需粘貼EOS測試合格標簽,粘貼位置要統一;
十六. 變更及點檢記錄 130 新機型、新線體開線、制程變更有相關點檢及紙質記錄,變更未合格前不能批量生產;131 接地地樁至少6個月定期檢測一次,并保留相關檢測數據記錄1年以上(電子檔或紙檔);132 其它Blue要求的測試記錄;
十七. 耗材標準要求 133 嚴禁使用表面涂覆、一次性噴涂處理的防靜電耗材,與產品不直接接觸的可使用導靜電材料(表面電阻/點對點電阻/體積電阻:1.0×103~1.0×105Ω),與產品直接接觸的應使用靜電耗散材料(表面電阻/點對點電阻/系統電阻:1.0×105~1.0×109Ω),-100V<摩擦電壓<100V;如有不同,請與BlueESD負責人溝通協商;
總結
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