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cass出现验证许可_ASML:DUV光刻机无需美国许可!最新一代EUV光刻机明年发布:加工精度提升至1.1nm...

發(fā)布時(shí)間:2023/12/19 编程问答 38 豆豆
生活随笔 收集整理的這篇文章主要介紹了 cass出现验证许可_ASML:DUV光刻机无需美国许可!最新一代EUV光刻机明年发布:加工精度提升至1.1nm... 小編覺(jué)得挺不錯(cuò)的,現(xiàn)在分享給大家,幫大家做個(gè)參考.

EETOP專(zhuān)注芯片、微電子,點(diǎn)擊上方藍(lán)字關(guān)注我們

10月14日,ASML公布第三季度財(cái)報(bào),凈銷(xiāo)售額高達(dá)39.58億歐元,同比增長(zhǎng)32.6%,毛利率為47.5%。據(jù)該公司首席執(zhí)行官Peter Wennink 介紹,ASML在第三季度一共交付了 10 臺(tái) EUV 系統(tǒng),并在本季度實(shí)現(xiàn)了 14 臺(tái)系統(tǒng)的銷(xiāo)售收入。而在第三季度的新增訂單達(dá)到 29 億歐元,其中 5.95 億歐元來(lái)自 4 臺(tái) EUV 設(shè)備。從這個(gè)說(shuō)明我們可以看到,ASML EUV光刻機(jī)的售價(jià)約為1.48億歐元,折合人民幣11.74億元。

即將出貨全新EUV光刻機(jī)ASML還披露他們?nèi)碌臉O紫外光刻機(jī)將在明年年中開(kāi)始出貨的,型號(hào)為T(mén)WINSCAN NXE:3600D。在財(cái)報(bào)中,阿斯麥表示他們已經(jīng)敲定了TWINSCAN NXE:3600D的規(guī)格,具體來(lái)說(shuō),30mJ/c㎡的曝光速度達(dá)到每小時(shí)曝光160片晶圓,提高了18%的生產(chǎn)率,并改進(jìn)機(jī)器匹配套準(zhǔn)精度至1.1nm。值得注意的是,在2019年的年報(bào)中,阿斯麥就曾披露他們?cè)谘邪l(fā)新一代的極紫外光刻機(jī),但當(dāng)時(shí)他們是計(jì)劃在2022年年初開(kāi)始出貨,2024或者2025年大規(guī)模生產(chǎn)。三季度財(cái)報(bào)中披露在明年年中開(kāi)始出貨,也就意味著出貨時(shí)間較原計(jì)劃提前了半年。極紫外光刻機(jī)是7nm和5nm芯片制程工藝所必不可少的設(shè)備,目前全球只有阿斯麥能供應(yīng)。臺(tái)積電、三星這兩大芯片代工商的制程工藝都已提升到了7nm和5nm,他們所需要的極紫外光刻機(jī)也全部仰仗于阿斯麥,全新的TWINSCAN NXE:3600D的首臺(tái),預(yù)計(jì)也會(huì)交由這兩家代工商中的一家。3600D定于2021年中旬出貨交付,客戶(hù)還需要一定時(shí)間等待,價(jià)格應(yīng)該不會(huì)低于現(xiàn)款老型號(hào)的1.2億美元。目前,ASML已經(jīng)投產(chǎn)的最先進(jìn)光刻機(jī)是3400C,但主力出貨型號(hào)是3400B。參數(shù)方面,3400B的套刻精度為2nm、曝光速度20mJ/c㎡?,每小時(shí)可曝光125片晶圓。另外,ASML透露,3400B在三季度也完成了軟件升級(jí)。全新的DUV光刻機(jī)TWINSCAN NXT:2050i已經(jīng)在三季度結(jié)束驗(yàn)證,四季度早期開(kāi)始正式出貨。據(jù)悉,在截止9月30日的單季度,ASML共獲得60臺(tái)光刻機(jī)收入,出貨了10臺(tái)EUV光刻機(jī)。DUV光刻機(jī)無(wú)需出口許可證ASML CFO Roger Dassen在財(cái)報(bào)會(huì)議的視頻采訪中談到了與中芯國(guó)際等中國(guó)客戶(hù)的業(yè)務(wù)情況。Roger Dassen指出,在中國(guó)業(yè)務(wù)方面,去年中國(guó)本土客戶(hù)為ASML創(chuàng)造了約8億歐元的銷(xiāo)售額,今年將會(huì)更多,預(yù)計(jì)超過(guò)10億歐元。關(guān)于美國(guó)有可能對(duì)中芯國(guó)際采取限制措施,Roger Dassen表示,ASML今年客戶(hù)以邏輯工藝領(lǐng)域?yàn)橹?#xff0c;中芯國(guó)際則是ASML的主要邏輯工藝領(lǐng)域客戶(hù)。“我們不會(huì)對(duì)特定的客戶(hù)情況進(jìn)行推測(cè)或評(píng)論,但總的來(lái)說(shuō),我們會(huì)在法律和法規(guī)要求的范圍內(nèi)盡最大的能力繼續(xù)為客戶(hù)提供服務(wù),”Roger Dassen如是說(shuō)。Roger Dassen進(jìn)一步指出,ASML了解美國(guó)當(dāng)局目前的規(guī)章制度及其解釋,當(dāng)然也知道這些與特定的中國(guó)客戶(hù)密切相關(guān),但如果廣泛的來(lái)理解其規(guī)章制度對(duì)ASML的總體含義(對(duì)于特定的中國(guó)客戶(hù)),則意味著ASML將能夠從荷蘭向這些中國(guó)客戶(hù)提供DUV光刻系統(tǒng),且無(wú)需出口許可證。不過(guò),如果涉及直接從美國(guó)運(yùn)往此類(lèi)客戶(hù)的零件或系統(tǒng),ASML則需要為此申請(qǐng)出口許可證。

本文綜合整理自:集微網(wǎng)、半導(dǎo)體行業(yè)觀察、EETOP、快科技等




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總結(jié)

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