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“4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装:10亿一台

發(fā)布時間:2023/12/10 综合教程 29 生活家
生活随笔 收集整理的這篇文章主要介紹了 “4nm”工艺下半年量产 Intel的EUV光刻机正式安装:10亿一台 小編覺得挺不錯的,現(xiàn)在分享給大家,幫大家做個參考.

根據(jù)Intel之前公布的路線圖,Intel 4工藝會是他們首個使用EUV光刻機的工藝,下半年量產(chǎn),他們從ASML購買的EUV光刻機現(xiàn)在正式開始在愛爾蘭的工廠安裝,這是Intel第二個、歐洲首個EUV工藝晶圓廠。

Intel前幾年就在愛爾蘭的Fab 34晶圓廠投資70億美元升級,主要是為Intel 4工藝準備的,原先該工藝是7nm,去年改名之后就等效于其他廠商的4nm EUV工藝了,也是Intel首個使用EUV光刻機的工藝。

今年1月底,Intel就在Fab 34晶圓廠安裝了光刻膠顯影設(shè)備(lithography resist track),不過它還不是真正的EUV光刻機,現(xiàn)在才開始安裝EUV光刻機,要為下半年的量產(chǎn)做準備了。

根據(jù)Intel公布的視頻,目前約有100多名ASML的工程師進駐工廠協(xié)助安裝,同時Intel也從美國俄勒岡州的工廠中派來了工程師培訓(xùn)愛爾蘭當(dāng)?shù)氐膯T工,教導(dǎo)他們使用EUV光刻機。

Intel沒有公布這款光刻機的具體型號,不過ASML最新的EUV光刻機超級貴,均價10億元左右,先進工藝晶圓廠的投資都是幾十億美元甚至上百億美元級別的。

Alder Lake 12代酷睿、Raptor Lake 13代酷睿都是Intel 7工藝(10nm ESF),Meteor Lake 14代酷睿和代號Granite Rapids的下下代至強都將用上Intel 4工藝,今年下半年就要量產(chǎn),不過14代酷睿上市還要到2023年。

總結(jié)

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